Senzor temperature i vlažnosti za poluvodičku shemu kontrole vlažnosti temperature čiste sobe
Izložba proizvoda
Temperaturaivlažnost čistog prostora uglavnom se određuje prema zahtjevima procesa, ali pod uvjetom ispunjavanja zahtjeva procesa, treba uzeti u obzir osjećaj ugode.S poboljšanjem zahtjeva za čistoćom zraka, došlo je do trenda sve strožih zahtjeva za temperaturu i vlažnost.
Kako je točnost obrade sve finija, tako je raspon temperaturnih fluktuacija sve manji.Na primjer, u procesu litografske ekspozicije velike proizvodnje integriranih krugova, razlika koeficijenta toplinskog širenja između stakla i silikonske pločice kao materijala maske mora biti sve manja i manja.Silicijska pločica promjera 100 um, porast temperature za 1 stupanj, uzrokovat će linearno širenje od 0,24 um, tako da mora postojati temperatura od ±0,1 stupanj, u isto vrijeme vrijednost vlažnosti općenito je niska, jer se ljudi znoje, proizvod će imati zagađenje, posebno se boji radionice natrijevih poluvodiča, ova radionica ne smije prelaziti 25 stupnjeva.
Visoka vlažnost uzrokuje više problema.Kada relativna vlažnost prijeđe 55%, rosa će se stvoriti na stijenci cijevi za rashladnu vodu, što će uzrokovati razne nezgode ako se to dogodi u preciznim uređajima ili krugovima.Kada je relativna vlažnost zraka 50%, lako hrđa.Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina zalijepljena na površini silikonskog čipa bit će kemijski adsorbirana na površini kako bi se oduprla uklanjanju.Što je relativna vlaga veća, prianjanje je teško ukloniti, ali kada je relativna vlaga niža od 30%, čestice se lako adsorbiraju na površini zbog djelovanja elektrostatske sile, a veliki broj poluvodičkih uređaja se sklona slomu.Optimalni raspon temperature za proizvodnju vafla je 35-45%.
Stoga je kontrola temperature i vlažnosti posebno važna, HENGKO vam može pružiti nizodašiljač temperature i vlažnosti prilagođena rješenja za obradu!
Senzor temperature i vlažnosti za poluvodičku shemu kontrole vlažnosti temperature čiste sobe
Ne možete pronaći proizvod koji zadovoljava vaše potrebe?Kontaktirajte naše prodajno osoblje zaOEM/ODM usluge prilagodbe! 
