poluvodički plinski filteri

Zašto je potrebno koristiti plinske filtere u procesu proizvodnje poluvodiča? 

Filtri za plin neophodni su u procesu proizvodnje poluvodiča iz nekoliko ključnih razloga:

1. Uklanjanje onečišćenja

Proizvodnja poluvodiča uključuje brojne osjetljive procese u kojima čak i najmanji kontaminanti,

kao što su čestice prašine, vlaga ili kemijski ostaci, mogu imati štetne učinke. Uklonite filtere za plin

čestice, nečistoće i zagađivače iz procesnih plinova u zraku, osiguravajući čist okoliš

i održavanje integriteta poluvodičkih pločica.

2. Održavanje standarda ultra-čistoće

Industrija poluvodiča zahtijeva izuzetno visoku razinu čistoće korištenih plinova, kao što to mogu učiniti nečistoće

dovesti do kvarova u poluvodičkim uređajima. Filtri za plin pomažu u postizanju iznimno čiste kvalitete plina, sprječavajući

kontaminacije i osiguravanje konzistentnosti i pouzdanosti proizvoda.

3. Zaštitna oprema

Kontaminanti u plinovima ne samo da mogu oštetiti poluvodičke pločice, već mogu oštetiti i osjetljive

oprema koja se koristi u procesu proizvodnje, kao što su reaktori za kemijsko taloženje parom (CVD) i

sustavi za jetkanje. Filtri za plin štite ove skupe strojeve od oštećenja, smanjujući rizik od

zastoja i skupih popravaka.

4. Sprječavanje gubitka prinosa

Iskorištenje je ključno u proizvodnji poluvodiča, gdje nedostaci mogu uzrokovati značajan gubitak u proizvodnji.

Čak i jedna čestica ili kemijska nečistoća može rezultirati gubitkom prinosa, utječući na produktivnost i profitabilnost.

Plinski filtri osiguravaju da su procesni plinovi čisti, smanjujući onečišćenje i smanjujući gubitak prinosa.

5. Osiguravanje kvalitete proizvoda

Dosljednost i kvaliteta najvažniji su u proizvodnji poluvodiča. Kontaminirani plinovi mogu stvoriti

nedosljednosti, što dovodi do nepouzdanih poluvodičkih uređaja. Korištenjem plinskih filtara proizvođači mogu

jamstvo da svaka serija zadovoljava stroge potrebne standarde kvalitete, što dovodi do višeg uređaja

performanse i dugovječnost.

6. Smanjenje vremena prekida rada

Kontaminanti u procesnim plinovima mogu uzrokovati kvar opreme, zahtijevajući održavanje ili zamjenu.

Korištenjem plinskih filtara proizvođači mogu smanjiti neočekivane zastoje, održati radnu učinkovitost i

produžiti životni vijek kritične opreme.

7. Kemijska kompatibilnost

Mnogi plinovi koji se koriste u poluvodičkim procesima vrlo su reaktivni ili korozivni. Filtri za plin su

dizajniran da izdrži ova oštra kemijska okruženja dok učinkovito filtrira nečistoće, osiguravajući

sigurna i učinkovita obrada.

Općenito, plinski filtri ključni su za održavanje čistoće, pouzdanosti i sigurnosti poluvodiča

proizvodnog procesa, pomažući u postizanju visokokvalitetnih poluvodičkih proizvoda bez grešaka

također štiteći vrijednu opremu.

Vrste plinskih filtera u procesu proizvodnje poluvodiča

U procesu proizvodnje poluvodiča koriste se različite vrste plinskih filtara za rješavanje raznih problema

faze i izazovi povezani s čistoćom plina i zaštitom opreme.

Tipovi plinskih filtera koji se obično koriste uključuju:

1. Filtri čestica

*Svrha: Za uklanjanje čestica, prašine i drugih krutih kontaminanata iz procesnih plinova.

*Korištenje: Često se postavlja u različitim fazama radi zaštite pločica, procesnih komora i opreme od kontaminacije česticama.

*Materijali: Obično izrađen od sinteriranog nehrđajućeg čelika, PTFE-a ili drugih materijala koji osiguravaju trajnost i kemijsku kompatibilnost.

2. Molekularni ili kemijski filtri (Getter filtri)

*Svrha: Za uklanjanje specifičnih molekularnih kontaminanata, poput vlage, kisika ili organskih spojeva, koji mogu biti prisutni u procesnim plinovima.

*Korištenje: Koristi se kada je potreban plin visoke čistoće, poput procesa taloženja ili jetkanja.

*Materijali: Često se izrađuje pomoću aktivnog ugljena, zeolita ili drugih upijajućih materijala posebno dizajniranih za hvatanje molekularnih nečistoća.

3. Filtri za plin visoke čistoće

*Svrha: Za postizanje standarda plina ultravisoke čistoće (UHP), što je kritično za poluvodičke procese gdje i najmanja nečistoća može utjecati na kvalitetu proizvoda.

*Korištenje: Ovi se filtri koriste u procesima poput kemijskog taloženja parom (CVD) i plazma jetkanja, gdje nečistoće mogu uzrokovati ozbiljne nedostatke.

*Materijali: Izrađen od nehrđajućeg čelika sa specijaliziranim membranama za održavanje cjelovitosti pod visokim pritiskom i ekstremnim uvjetima.

4. Filtri za rasuti plin

*Svrha: Za pročišćavanje plinova na mjestu ulaska ili prije distribucije u proizvodne linije.

*Korištenje: Postavljen uzvodno u sustav za isporuku plina za filtriranje plinova u rasutom stanju prije nego što se dopreme do pojedinačnih alata ili reaktora.

*Materijali: Ovi filteri često imaju veliki kapacitet za rukovanje velikim količinama plinova.

5. Filtri za plin na mjestu uporabe (POU).

*Svrha: Osigurati da plinovi koji se isporučuju svakom specifičnom alatu za obradu budu bez ikakvih kontaminanata.

*Korištenje: Instalira se neposredno prije uvođenja plinova u procesnu opremu, kao što su komore za jetkanje ili taloženje.

*Materijali: Izrađen od materijala kompatibilnih s reaktivnim plinovima koji se koriste u poluvodičkim procesima, poput sinterovanog metala ili PTFE-a.

6. Inline plinski filtri

*Svrha: Osigurati inline filtraciju za plinove koji se kreću kroz distribucijski sustav.

*Korištenje: Instalira se unutar plinovoda na ključnim točkama, osiguravajući stalnu filtraciju u cijelom sustavu.

*Materijali: Sinterirani nehrđajući čelik ili nikal kako bi se osigurala kemijska kompatibilnost s plinovima.

7. Filtri za površinsku montažu plina

*Svrha: Za izravnu montažu na komponente plinske ploče za uklanjanje čestica i molekularnih kontaminanata.

*Korištenje: Uobičajeni u skučenim prostorima, ovi filtri pružaju učinkovitu filtraciju na mjestu uporabe u kritičnim primjenama.

*Materijali: Nehrđajući čelik visoke čistoće za izdržljivost i kompatibilnost s plinovima za proizvodnju poluvodiča.

8. Submikronski filteri

*Svrha: Filtrirati iznimno male čestice, često male veličine od submikrona, koje još uvijek mogu uzrokovati značajne nedostatke u poluvodičkim procesima.

*Korištenje: Koristi se u procesima koji zahtijevaju najvišu razinu filtracije za održavanje opskrbe ultra čistim plinom, kao što je fotolitografija.

*Materijali: Sinterirani metalni ili keramički materijali visoke gustoće koji mogu učinkovito uhvatiti čak i najmanje čestice.

9. Filtri s aktivnim ugljenom

*Svrha: Za uklanjanje organskih kontaminanata i hlapljivih plinova.

*Korištenje: Koristi se u primjenama gdje je potrebno ukloniti plinovite nečistoće kako bi se spriječila kontaminacija pločice ili poremećaji reakcije.

*Materijali: Materijali s aktivnim ugljenom dizajnirani za adsorpciju organskih molekula.

10.Sinterirani metalni plinski filtri

*Svrha: Za učinkovito uklanjanje čestica i nečistoća uz strukturnu čvrstoću i otpornost na visoki pritisak.

*Korištenje: Široko se koristi u višestrukim fazama procesa poluvodiča gdje je potrebno robusno filtriranje.

*Materijali: Obično izrađen od sinteriranog nehrđajućeg čelika ili drugih metalnih legura kako bi izdržao teške uvjete i kemikalije.

11.Hidrofobni plinski filtri

*Svrha: Za sprječavanje vlage ili vodene pare od ulaska u struju plina, što je kritično u određenim procesima koji su osjetljivi čak i na tragove vlage.

*Korištenje: Često se koristi u procesima poput sušenja pločica ili plazma jetkanja.

*Materijali: Hidrofobne membrane, kao što je PTFE, kako bi se osiguralo da plinovi ostanu bez kontaminacije vlagom.

Ove različite vrste plinskih filtara pažljivo su odabrane na temelju njihovih specifičnih svojstava, kompatibilnosti materijala i prikladnosti za jedinstvene uvjete procesa proizvodnje poluvodiča. Prava kombinacija filtara ključna je za održavanje najviše razine čistoće plina, osiguravanje stabilnosti procesa i sprječavanje kvarova u poluvodičkim uređajima.

Neka često postavljana pitanja o poluvodičkim plinskim filtrima

FAQ 1:

Što su poluvodički plinski filteri i zašto su važni?

Poluvodički plinski filtri kritične su komponente u procesu proizvodnje poluvodiča.

Namijenjeni su za uklanjanje nečistoća i kontaminanata iz procesnih plinova, kao što sukisik,

dušik, vodik i razni kemijski plinovi.

Te nečistoće mogu značajno utjecati na kvalitetu, iskorištenje i pouzdanost poluvodičkih uređaja.

Učinkovitim filtriranjem struje plina, poluvodički filtri za plin pomažu:

1. Održavajte visoku čistoću:

Osigurajte da plinovi korišteni u proizvodnom procesu ne sadrže kontaminante koji bi mogli umanjiti rad uređaja.

2. Spriječite oštećenje opreme:

Zaštitite osjetljivu poluvodičku opremu od kontaminacije česticama i kemikalijama, što može dovesti do skupih zastoja i popravaka.

3. Poboljšajte prinos proizvoda:

Smanjite nedostatke i kvarove uzrokovane nečistoćama koje se prenose plinom, što rezultira većim proizvodnim prinosima.

4. Povećajte pouzdanost uređaja:

Smanjite dugoročnu degradaciju poluvodičkih uređaja zbog problema povezanih s kontaminacijom.

FAQ 2:

Koje su uobičajene vrste poluvodičkih filtera za plin?

Nekoliko vrsta plinskih filtara koristi se u proizvodnji poluvodiča, a svaki je dizajniran za uklanjanje

specifične vrste kontaminanata.

Najčešće vrste uključuju:

1. Filtri čestica:

Ovi filteri uklanjaju krute čestice, kao što su prašina, vlakna i metalne čestice, iz struje plina.

Obično su izrađeni od materijala poput sinteriranih metala, keramike ili membranskih filtara.

2. Kemijski filteri:

Ovi filtri uklanjaju kemijske nečistoće, poput vodene pare, ugljikovodika i korozivnih plinova.

Često se temelje na načelima adsorpcije ili apsorpcije, koristeći materijale poput aktivnog ugljena,

molekularna sita ili kemijski sorbenti.

3.Kombinirani filtri:

Ovi filteri kombiniraju mogućnosti filtera čestica i kemijskih filtera za uklanjanje obje vrste

onečišćenja. Često se koriste u kritičnim primjenama gdje je neophodna visoka čistoća.

FAQ 3:

Kako se biraju i dizajniraju poluvodički plinski filteri?

Odabir i dizajn poluvodičkih plinskih filtara uključuje nekoliko čimbenika, uključujući:

* Zahtjevi za čistoću plina:

Željena razina čistoće za određeni tok plina određuje učinkovitost i kapacitet filtracije filtra.

* Protok i tlak:

Volumen plina koji se filtrira i radni tlak utječu na veličinu, materijal i konfiguraciju filtera.

* Vrsta i koncentracija onečišćenja:

Specifične vrste kontaminanata prisutnih u struji plina diktiraju izbor medija za filtriranje i njegovu veličinu pora.

*Temperatura i vlažnost:

Radni uvjeti mogu utjecati na performanse i životni vijek filtra.

*Cijena i održavanje:

Moraju se uzeti u obzir početni trošak filtra i zahtjevi za njegovim stalnim održavanjem.

Pažljivim razmatranjem ovih čimbenika, inženjeri mogu odabrati i dizajnirati plinske filtre koji zadovoljavaju specifičnosti

potrebe procesa proizvodnje poluvodiča.

Koliko često treba mijenjati plinske filtre u proizvodnji poluvodiča?

Učestalost zamjene plinskih filtara u proizvodnji poluvodiča ovisi o nekoliko čimbenika, uključujući vrstu

postupak, razinu kontaminanata i specifičnu vrstu filtra koji se koristi. Obično se plinski filtri redovito mijenjaju

raspored održavanja kako bi se spriječio bilo kakav rizik od kontaminacije,često svakih 6 do 12 mjeseci, ovisno o uvjetima uporabe

i preporuke proizvođača filtera.

Međutim, rasporedi zamjene mogu uvelike varirati ovisno o radnom okruženju. Na primjer:

*Postupci s visokom kontaminacijom:

Filtre će možda trebati češće mijenjati ako su izloženi visokim razinama

kontaminacija česticama ili molekulama.

*Kritične aplikacije:

U procesima koji zahtijevaju izuzetno visoku čistoću (npr. fotolitografija), filteri se često mijenjaju

preventivno kako bi se osiguralo da kvaliteta plina nije ugrožena.

Praćenje diferencijalnog tlaka na filtru je uobičajena metoda za određivanje kada filtar treba zamijeniti.

Kako se kontaminanti nakupljaju, pad tlaka na filtru se povećava, što ukazuje na smanjenje učinkovitosti.

Ključno je zamijeniti filtere prije nego što njihova učinkovitost opadne, jer svako narušavanje čistoće plina može uzrokovati značajne nedostatke,

smanjiti prinos, pa čak i dovesti do oštećenja opreme.

Od kojih materijala se izrađuju plinski filtri za poluvodičke primjene?

Plinski filtri koji se koriste u poluvodičkim aplikacijama izrađeni su od materijala koji mogu održati najviše standarde čistoće

i izdržati teške uvjete rada u proizvodnji. Uobičajeni materijali uključuju:

*Nehrđajući čelik (316L): Najrašireniji materijal zbog svoje kemijske otpornosti, mehaničke čvrstoće i

mogućnost izrade s preciznim veličinama pora korištenjem tehnologije sinteriranja. Pogodan je za filtriranje i reaktivnih

i inertni plinovi.

*PTFE (politetrafluoretilen): PTFE je kemijski inertan materijal koji se koristi za filtriranje visoko reaktivnih ili korozivnih tvari

plinovi. Ima izvrsnu kemijsku kompatibilnost i hidrofobna svojstva, što ga čini idealnim za osjetljive na vlagu

procesima.

*Nikal i Hastelloy:

Ovi se materijali koriste za primjenu na visokim temperaturama ili za procese koji uključuju agresivne kemikalije

gdje se nehrđajući čelik može razgraditi.

* Keramika:

Keramički filtri koriste se za primjene gdje je potrebna ekstremna temperaturna otpornost ili za submikronske

filtracija čestica.

Izbor materijala ovisi o vrsti plina, prisutnosti reaktivnih vrsta, temperaturi i

ostali parametri procesa. Materijali moraju biti nereaktivni kako bi se osiguralo da ne unose nečistoće

ili čestica u proces, čime se održavaju razine čistoće plina potrebne za proizvodnju poluvodiča.

Koja je uloga filtara na mjestu uporabe (POU) u proizvodnji poluvodiča?

Filtri na mjestu uporabe (POU) bitni su u proizvodnji poluvodiča jer osiguravaju pročišćavanje plinova neposredno prije

ulazak u procesne alate. Ovi filtri pružaju konačnu zaštitu od kontaminanata koji su mogli ući u struju plina

tijekom skladištenja, transporta ili distribucije, čime se povećava stabilnost procesa i kvaliteta proizvoda.

Ključne prednosti POU filtera:

*Postavljeno blizu kritične opreme (npr. komora za jetkanje ili taloženje) kako bi se spriječilo da kontaminacija dopre do ploče.

*Uklonite čestice i molekularne nečistoće koje bi mogle biti unesene sustavom za rukovanje plinom ili izloženošću okolišu.

*Osigurajte najvišu moguću kvalitetu plina koja se isporučuje procesnom alatu, štiteći opremu i poboljšavajući kvalitetu proizvedenih uređaja.

*Smanjite varijabilnost procesa, povećajte prinos i smanjite razine grešaka.

*Nezamjenjiv u naprednim poluvodičkim okruženjima gdje čak i manje nečistoće mogu značajno utjecati na produktivnost i pouzdanost proizvoda.

Kako filtri za plin sprječavaju zastoj opreme u procesima poluvodiča?

Plinski filteri sprječavaju zastoj opreme u poluvodičkim procesima osiguravajući da procesni plinovi dosljedno budu bez

zagađivači koji bi mogli oštetiti proizvodnu opremu. Izrada poluvodiča uključuje korištenje visoko

osjetljivu opremu, uključujući komore za taloženje, strojeve za plazma jetkanje i sustave za fotolitografiju.

Ako zagađivači poput prašine, vlage ili reaktivnih nečistoća uđu u ove strojeve, mogu prouzročiti niz problema,

od začepljenja ventila i mlaznica do oštećenja površina pločica ili unutrašnjosti reaktora.

Korištenjem visokokvalitetnih plinskih filtara, proizvođači sprječavaju unošenje tih onečišćenja, smanjujući vjerojatnost

neplanirano održavanje i kvarovi opreme. To pomaže u održavanju stabilnih rasporeda proizvodnje, minimizirajući

skupi zastoji i izbjegavanje značajnih troškova povezanih s popravcima ili zamjenama.

Osim toga, dobro održavani filtri pomažu produžiti životni vijek ključnih komponenti, kao što su regulatori protoka, ventili i reaktori,

čime se povećava ukupna učinkovitost i profitabilnost proizvodnog procesa.

Nakon što provjerite neke pojedinosti o poluvodičkim plinskim filterima, ako i dalje imate još pitanja.

Jeste li spremni optimizirati svoj proces proizvodnje poluvodiča s visokokvalitetnim rješenjima za filtriranje plina?

Kontaktirajte HENGKO već danas za stručno vodstvo i prilagođena rješenja koja će zadovoljiti vaše potrebe.

Nakon što ste provjerili neke detalje informacija o poluvodičkom plinskom filtru, imate li još pitanja?

Jeste li spremni optimizirati svoj proces proizvodnje poluvodiča s visokokvalitetnim rješenjima za filtriranje plina?

Kontaktirajte HENGKO već danas za stručno vodstvo i prilagođena rješenja koja će zadovoljiti vaše potrebe.

Pošaljite nam e-poštu naka@hengko.comza više informacija.

Naš tim je tu da vam pomogne poboljšati učinkovitost proizvodnje i kvalitetu proizvoda.