Visokoučinkoviti IGS površinski montirani C-brtveni filtri za poluvodičke sustave za dovod plina
Opis
HENGKO površinski montažni filteri dizajnirani su kako bi zadovoljili zahtjevne zahtjeve integriranih plinskih sustava koji se koriste u poluvodičkim OEM alatima. Nudeći vodeću filtraciju u industriji na 0,003 µm, ovi filteri osiguravaju iznimne performanse i pouzdanost s učinkovitošću presretanja čestica od ≥99,9999999% (9-LRV) pri 120 slpm.
Izrađeni od robusnog nehrđajućeg čelika 316L sinteriranog u prahu za filterski element i kućište, ovi filteri su u skladu sa specifikacijama SEMI F86-0304, s komponentama s dva priključka prilagođenim za sustave distribucije plina od 1,125” s konfiguracijom C-brtve. Podržavaju maksimalni ulazni tlak od 3,4 MPa na 100°C i maksimalnu razliku radnog tlaka od 0,69 MPa na 100°C.
Ovi specijalizirani filteri, kompatibilni sa specifikacijama brtvi C-tipa i W-tipa, postižu čistoću nizvodno s oslobađanjem čestica
S površinskom završnom obradom Ra< 1,6 µm na vanjskoj strani i Ra< 0,13 µm na unutrašnjosti, dizajnirani su da izdrže visoke temperature do 460°C. Projektirani za jednostavnu integraciju i nadogradnje modularnog dizajna, ovi filteri pojednostavljuju instalaciju i održavanje, pomažući u optimizaciji performansi sustava u primjenama isporuke i upravljanja poluvodičkim plinom.
Značajka proizvoda
▶ Ukupna konstrukcija od nehrđajućeg čelika 316L
▶ Minijaturizirani dizajn, kompaktna struktura, ušteda prostora
▶ Izvrsne karakteristike zamjene i desorpcije plina
▶ Otporno na visoke temperature, visoki tlak i koroziju
▶ Kućište od elektropoliranog nehrđajućeg čelika 316L
▶ Jednostavna i učinkovita instalacija i održavanje
▶ Mehaničko brtvljenje, strukturno nezavareno s medijem
Podatkovni list
| Tehnički parametri | Vrijednosti |
|---|---|
| Materijal filterskog elementa | Sinterirani prah od nehrđajućeg čelika 316L |
| Materijal kućišta | Nehrđajući čelik 316L |
| Maksimalni ulazni tlak | 3,4 MPa pri 100 °C |
| Maksimalna radna razlika | 0,69 MPa pri 100 °C |
| Stopa curenja helija za provjeru | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Stopa curenja helija | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Površinska obrada | Vanjska površina Ra< 1,6 μm |
| Unutarnja površina Ra< 0,13 μm | |
| Maksimalna radna temperatura | 460°C |
| Učinkovitost presretanja čestica | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (referentni MPPS, sve čestice) |
| Čistoća nizvodno | Oslobađanje čestica:< 0,03 čestica/litri (< 1 čestica/ft³) |
| Hlapljive tvari:< 10 ppb vlage | |
| Veličina presretanja čestica | ≥0,003 μm |
| Raspon protoka | 0 ~ 120 slpm |
Veličina
Evo kataloškog broja koji možete naručiti i detalja o veličini:
| Model proizvoda | Brzina protoka | Visina V (mm) | Preciznost filtracije | Razina čišćenja |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Tipične primjene
Za upotrebu s W-brtvilom i C-brtvilom, modularnim sustavima za dovod plina za površinsku montažu od 1,125” i 1,5”.
Pošaljite nam svoju poruku:
